Was bedeutet AMC?
AMC=Airbone Molecular Contamination
Chemische Kontamination, luftgetragene Kontamination, die molekular vorliegt
Wie kann es zur chemischen Kontamination kommen?
Erzeugung durch äußere Quellen, wie beispielsweise Prozessleckagen, Werkstoffe oder durch Ausgasung von Personen oder Materialien
->Transport als luftgetragene chemische Kontamination
->Sorption an der empfindlichen Oberfläche, die quantitativ als chemische Oberflächenkontamination beschrieben werden kann
Welche AMC-Klassen gibts es?
Säuren
Basen
Kondensierbare Stoffe
Dotierstoffe
Wie nennt sich die AMC-Klasse, die die elektrischen Eigenschaften von Halbleitern verändert?
Dopants, Dotierstoffe
Welche Effekte haben Säuren bei der Chemischen Kontamination?
Trübung von Halbleitern, Aussehen von Belichtungs- und Messwerkzeugen
bewirkt Korrision von Al und Cu Metallleitungen
Welche Effekte haben Basen bei der Chemischen Kontamination?
Neutralisiert Photosäuren
Reaktionen mit Säuredämpfen können Trübungen, Partikelbildung und Nitride auf der Waferoberfläche verursachen
Welche Effekte haben kondensierbare Stoffe bei der Chemischen Kontamination?
Trübung von Ergebnissen von Belichtungsgeräten durch Silikone und HMDS-Nebenprodukten
Delaminierung von PR und ARCs
Welche Physikalischen Risikofaktoren für Chemische Kontamination gibt es?
• Mechanische Schwingungen
• Elektromagnetische Felder
• Elektrostatische Entladungen
Welche Schwingungsquellen für eine Chemische Kontamination gibt es?
Interne Quellen (Pumpen, Ventilatoren, Kompressen etc.)
Prozessgeräte
Mensch
Wind
Wie kann eine Schwingungsreduzierung erfolgen und welches Ziel verfolgt sie?
• Dämpfung des Schwingungserzeugers
• Dämpfung der Schwingungsübertragung
Ziel: möglichst schwingungsfreie Produktionsumgebung
Welche Quellen für elektromagnetische Felder gibt es?
Stromleitungen
Mobiltelefone,WLan
Funkmasten, Radaranlagen etc.
Bewegungen im Erdmagnetfeld
Ausgleichströme in Erdungsschleifen
Wodurch entsteht elektrostatische Aufladung und wodurch wird sie begünstigt?
elektrostatische Aufladung entsteht i. d. R. durch Reibung
Begünstigt durch:
Verwendung Isolatoren
Geringe Luftfeuchtigkeit
Nennen Sie Auswirkungen von elektromagnetischer Aufladung
• Elektromagnetische Strahlung -> Störung von Prozessgeräten
• Feldinduzierte Metall-Abtragung ->Zerstörung von Halbleiterstrukturen
Welche Schutzmaßnahmen vor elektrostatischer Entladung sind möglich?
ESD geeignete Böden und Oberflächen
Vermeidung unnötiger Isolatoren wie beispielsweise Kaffeetassen, Klebebänder, Styropor und Kunststofffolien
Verwendung von Ionisatoren zum gezielten Abbau von elektrostatischer Ladung im Produktionsprozess
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