Rasterelektronenmikroskopie

Unterschiede zur LM?

Funktionsprinzip des Rasterelektronenmikroskops?

Wechselwirkung von Elektronen mit Probe?

Eindringvermögen

Wechselwirkung von Elektronen mit Probe?

Antwortsignale

Welche Informationen liefern die Signale?

Auflösungsvermögen des Rasterelektronenmikroskops bei Analysen mit den jeweiligen Messsignalen?

Was ist bei dünnen Schichten zu berücksichtigen?

Auflösungsvermögen des Rasterelektronenmikroskops, Grenzflächen?

Auflösungsvermögen des Rasterelektronenmikroskops, dünne Schichten?

Anwendungsbeispiele des Rasterelektronenmikroskops?

charakteristische Röntgenstrahlung (EDS- oder EDX Modus)

sonstige Methoden?

Funktionsprinzip Röntgenfluoreszenz, Vorteile/Nachteile gegenüber EDS des REM?