Wie können Messaufgaben Klassifiziert werden?
Wie wird die Form eines Bauteil erfasst ?
Taster erzeugt “Punktewolke”
Wie werden Messverfahren eingeteilt?
Wie kann die Genauigkeit von Formmessungen (bei Tastern) verbessert werden?
Erhöhen der Punktdichte
Welche taktilen Messtaster git es, wie fuktionieren diese und welche Vor- und Nachteile haben diese?
Welche Auswertverfahren zur taktilen Vermessung von ohrungen gibt es?
Gauß
Tschebyscheff
Hüllkreis
Pferchkreis
Welche Fehlerursachen bei der taktilen Vermessung gibt es ?
Durchmesser der Tasterkugel
Taster passt nicht in eine Nut zB
Länge und Form des Tasters
Tasterschaft verursacht Kollision mit dem Werkstück
Anfahrtwinkel falsch gewählt
>60° : geringe seitliche Abdrängung zu erwarten
<60° : hohe seitliche Abdrängung zu erwarten
Was ist die Numerische Apertur und wie wird diese berechnet ?
NA beschreibt das Auflösungsvermögen eines Objektivs
Welche Möglichkeiten gibt es zur Erhöhunng der numerischen Apertur?
Vergrößerung des Objektivdurchmessers
Verringerung der Brennweite
Welche Eigenschaften hat die Konfokal mikroskopie?
Messverfahren, welches Messung sehr kleiner Oberflächenstrukturen ermöglicht
Objektiv bestimmt laterale und vertikale Auflösung und Messfeldgröße
Oberflächen mit hohem Reflexionsgrad können gemessen werden
Flankenwinkel abh. von numerischer Apertur
Hohe Messzeit
Wie ist ein Konfokalmikroskop aufgebaut?
Wie ist das Lasertriangulationsverfahren aufgebaut?
Welche Eigenschaften hat das Streifenprojektionsverfahren?
Ermöglicht Messung makrogeometrischer wie auch mikrogeometrischer Formen
Großer vertikaler Messbereich ohne vertikale Achsbewegung
Konvexe Formen können gut erfasst werden
Messung „glatter“ Oberflächen nur bedingt geeignet
Geringe Messzeit
Welche Eigenschaften hat die Fokusvariation?
Ermöglicht Messung makrogeometrischer wie auch mikrogeometrischer Form
Nutzung von Fremdlicht möglich
Oberfläche muss hinreichend Kontrast aufweisen
Oberflächen mit hohem Reflexionsgrad schlecht zu vermessen
Messzeit abh. Belichtungszeit
Wie funktioniert ein REM ?
Emittierung Elektronenstrahl von Kathode
Beschleunigung Elektronen durch Spannungsfeld zwischen Katode und Anode
Hochvakuum verhindert die Ablenkung der Elektronen durch Gasteilchen im Raum
Fokussierung des Elektronentrahls durch Wehneltzylinder und elektromagnetische Linsen (Kondensorlinsen, Objektivlinse)
Lenkung des Strahls durch Ablenkspulen
Führung des Elektronenstrahls über die Probe im Raster
Detektion von Sekundärelektronen
Signalverstärkung und Ausgabe als Helligkeitswert am Monitor
Welche Bildmodi besitzt ein REM?
Sekundärelektronen/ Secondary electrons (SE)
Erfassung primär der Toographie
Rückstreuelektronen/ Blackscatterd electrons (BSE)
Intensität ist Ordnungszahl und damit Materialabhängig
Stelle die Taktilen und Optischen Messverfahren gegenüber
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