Was sind ”intelligente” (oder stimul responsive) Materialien? Nennen Sie drei Antwort Trigger und nennen Sie was fu ̈r jeden davon spezifisch ist.
intelligente materialien ändern ihre eigenschaften mit veränderten umgebungsbedingungen
Antwort ist klein bei triggern an nur einer stelle aber groß wenn sie über das gesamte volumgen geschieht
Trigger:
Licht; Mechanismus ist beugungslimitiert
Temperatur: Limitiert durch thermische diffusion
ph Wert: Meachanismus ist limitiert durch ionendiffusion
Bennen und beschreiben Sie vier Techniken und ihre assozierten materialwisschenschaftlichen Mechanismen, die fu ̈r die Nanolithographie nu ̈tzlich sind.
Photolithografie: Veränderung der Löslichkeit des Fotolacks durch Photonenbestrahlung,
da dabei die Polymerketten aufbrechen. Dadurch verändert sich die Löslichkeit
- Elektronenstrahl-:
Ein Muster mit einem Elektronenstrahl wird auf das Substrat geschrieben.
Der Mechanismus beruht auf der Fokussierung des Elektronenstrahls durch magnetische Linsen
- Soft-Lithografie: Molekühltransfer der Tinte durch Aufbringungen mit Druck.
Es wird keine hohe Energie benötigt wie bei Photo oder Elektro.
Arbeiten mit. Stempeln und Schablonen
- Dip-pen-: AFM Spitze wird über Substrat bewegt. Dazwischen bildet sich ein Wasserminiskus.
Chemische reaktion zwischen spitze und substrat
Was sind die zwei wichtigsten Eigenschaften von nanoimprint Lithographiepra ̈geformen? Warum?
- hohe Formtreue: erhöht Genauigkeit
- inerte Oberflächen: vereinfacht Ablösen von der Prägeform
Was ist die Abbe ́grenze und wie wird es in 2PP Nanolithographie u ̈berwunden. Beschreiben Sie den Hauptunterschied zwischen 2PP und 2PP-STED Nanolithographie? Erkla ̈ren Sie die Funktionsweise des STED-Verfahrens.
Beschreiben Sie kurz und bundig die Funktionsweise von jeder der folgenden Nanolithographiesysteme: Lokaloxidation, ”Dip pen”, ”Fountain Pen”, thermische Desorption.
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