Welche Art von leistungsfähigeren Transistoren, die heute in vielen
Elektronikgeräten eingesetzt werden, haben die „Planar FET“ mittlerweile vollständig
abgelöst?
● 5 - 3 nm FinFET-Transistoren
Welche beiden neuen Bauweisen werden zukünftig in der Halbleiterindustrie eine
große Rolle spielen?
Wo wird beim RTM der quantenmechanische Tunneleffekt ausgenutzt?
Zur Oberfläche eines zu untersuchenden Materials
Was kann man mit einem RTM sichtbar machen?
Atomare (elektronische) Struktur der Oberfläche von Materialien konnten
erstmalig sichtbar gemacht werden
Welche drei Messmodi stehen mit dem RTM zur Verfügung?
● Constant Height Method
● Constant Current Method
● Spektroskopiemodus
In welchem Bereich liegt der Abstand zwischen Spitze und Probe beim RTM?
⇒ Folie 71
e) In welchem Bereich liegt der Tunnelstrom beim RTM?
f) Wie hoch kann die Tunnelspannung (der sog. Bias) für Analysen im RTM bei tiefen
Temperaturen und im Vakuum eingestellt werden?
g) Bitte nennen Sie drei alternative Analyseverfahren zum RTM mit ähnlichen
Auflösungsvermögen, die für den Nanometerbereich eingesetzt werden können!
Was für Geräte, um Nanostrukturen sichtbar zu machen?
Rastertunnelmikroskop (RTM)
● Weitere Analysemethoden: HR-REM, HR-TEM, AFM,
Bis zu welcher Strukturgröße kann man mit dem TEM auflösen?
bis etwa 0,2 nm
Wie müssen die Strahlen im TEM ausgerichtet werden, um ein Beugungsbild (SAD)
zu erzeugen?
Alle Strahlen, die eine gemeinsame Richtung haben, werden hierzu in einem
(Beugungs-)Punkt fokussiert.
Was kann man mit Hilfe des Beugungsbilds (SAD-Profil) im TEM bestimmen?
● Nanostrukturen beobachten
Wie müssen die Strahlen im TEM ausgerichtet werden, um ein Ortsraum Bild zu
erzeugen?
Ortsraum Bild: Alle von einem Objektpunkt ausgehenden Strahlen werden in
einem Bildpunkt fokussiert)
Zuletzt geändertvor 2 Jahren
