Wie entstehen Droplets bei Arc-PVD-Verfahren und was kann man zur Vermeidung oder Reduktion der Makrodefekte tun?
Bei dem Arc-PVD-Verfahren entstehen Droplets durch den Prozess der Lichtbogenentladung zwischen dem Target und der Anode
Während des Verdampfungsprozesses einige kleine Tröpfchen (Droplets) des Targetmaterials freigesetzt. Diese Tröpfchen können sich in der Vakuumkammer bewegen und auf dem Substrat ablagern, um Makrodefekte in der Beschichtung zu verursachen. — Shichtqualität wird negativ beeinfluss
Lösung:
Targetmaterial
Magnetron Unterstützung
Filter und Abscheiden
Distanz zum Substrat
DLC-Schichten bieten die Möglichkeit die Reibung zu reduzieren. Aus diesem Grund soll auf einem Umformwerkzeug eine DLC-Schicht aufgetragen werden.
a) Welche Art der DLC-Schichten würden Sie wählen und warum? Was halten Sie von dieser Idee?
b) Wie würden Sie die Schichtarchitektur gestalten?
c) Mit welchen Verfahren lassen sich DLC-Schichten realisieren?
d) Aus welchen beiden Kohlenstoff-Modifikationen des Kohlenstoff bestehen DLC-Schichten?
e) Warum werden diese Schichten nicht für die Warmumformung verwendet?
f) Was halten Sie von dem Vorschlag Zahnräder mit DLC-Schichten zu modifizieren?
(g)Welche Dotierungsmöglichkeiten des DLC sind Ihnen bekannt?
Zuletzt geändertvor einem Jahr
