(1 Punkt/Point) Wovon ha ̈ngt die Geschwindigkeit eines Gasmoleku ̈ls in einem Medium ab?
Temperatur des mediums
-Masse der teilchen
(1 Punkt/Point) Was ist mit der freien Wegla ̈nge in UHV gemeint?
Durchschnittliche distanz die ein teilchen zurücklegt bis es zum stoß mit einem anderen teilchen kommt
Im uhv zwischen 1km und 10^5 km
(2 Punkt/Point) Nennen Sie zwei Kategorien fu ̈r Vakuumpumpen. Geben Sie ein Beispiel fu ̈r jede Kategorie.
Gastransfer Vakuumpumpen: Kolbenpumpe
Gasbindende Vakuumpumpen: Lryopumpe
(3 Punkte/Points) Skizzieren und erkla ̈ren Sie die Vakuummembranpumpe.
Eine Membran ist mit einer kolbenstange verbunden und führt bei rotation des exzenters eine pumpbewegung aus
Ansugen: einlassventil geöffnet ausslassventil geschlosssen
Abpumpen:einlassventil geschlossen und auslassventil geöffnet
dadurch habe ich erzeugung eines vakuums auf einlassseite
(2Punkte/PointsSkizzieren und erklären sie die öldiffusionspumpe
Treibmittel öl wird erhitzt sodass es verdampft
Dampf steigt auf und tritt unter hohem druck aus düsen aus gasmoleküle werden mitgerissen
öldampf wird durch die kammerwänder gekühlt und kondensiert es gelant zusammen mit den mitgerissenen gasmolekülen in den unteren bereich
durch das heizen des treibmittels treten die moleküle wieder aus und werden von der Vorwakuumpumpe abgepumpt
(3 Punkte/Points) Nennen Sie drei Gera ̈te zum Messen des Vakuums und geben Sie den unteren Messbereich fu ̈r jedes Messgera ̈t an.
Pirani Vakuummeter 10 hoch minus 3 bar
Penning vakuummetter 10 hoch minus acht bar
Ionisationsmessgerät 10 hoch minus 11 bar
(2 Punkte/Points) Skizzieren Sie ein Druck-Zeit Diagramm fu ̈r ein realistisches Leck und ein virtuelles Leck. Erkla ̈ren Sie die Unterschiede.
- Realistisch luft
- Strömt durch kleine risse in das behältnis umbegrenzte quelle linear anstieg
- Virtuelles leck kommt aus dem inneren des behälters durch desorption, ausgasung , blasloch > begrenzte quelle : Sättigung
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