Was sind Aktoren und Sensoren?
Sensor: setzt die Eingangsgröße in ein geeignetes Messignal um (“Beobachter”)
Aktor: zum aktiven Umwandeln von Messgrößen
wandelt elektrische Energie in mechanische Bewegung, Druck, Temperatur um
1) Sensor misst den Ist-Zustand
2) Prozesser verabeitet die Info & entscheidet
3) Aktor führt den Befehl aus
Worin Unterscheiden sich HF- und DC Sputtern?
Unterscheiden sich in der Art der elektrischen Stromquelle
DC:
es wird eine Gleichspannung angelegt
Geht nur bei Leitern
Hohe Abscheiderate
günstig & einfach
HF:
es liegt eine Wechselspannung an
geht auch bei Nicht-Leitern
Teuer
Was sind die Vor- & Nachteile eines Heißleiters?
Vorteil:
Preiswert
Großer Temperaturbereich: -55 bis 350 C°
NAchteil:
Große Streuung der Kennwerte (+-10%,
starke, nichtlineare R(T)-Abhängigkeit
Was sind die Vor- und NAachteile vom Aubreitungswiderstand als Temperatursensor?
Vorteile:
keine Polarisationsabhängigkeit mehr
Rückseite ist frei für den Wärmekontakt
NAchteile:
Querempfindlichkeitne gegen mechanische Spannung bei Wärmeausdehnung können auftreten
Was sind die Vorteile von einem Transistor als Temperatursensor?
gute Linearität zwischen -40 C° und 150 C°
große Exemplarstreuung
nur durch Selektion sind Toleranzen von +- 2°C erreichbar
Wovon hängt die Resonanzfrequenz eines Quarzschwingers ab?
von der Geometrie & Schnitt des Quarzmetalls
Woraus besteht ein Quarzschwinger TEmperatursensor?
=> besteht aus zwei Quarzschwinger mit unterschiedlichen Schnitten
1) Referenzquarz: Temperaturunabhängig in seiner Resonanzfrequenz
2) Sensorquarz: Resonanzfrequenz (linear) hängt linear von der Temperatur ab
Differenzfrequenz ist linear zur Temperatur
WAs versteht man unter der Kontaktspannung?
bringt man zwei Metalle A,B in Kontakt, findet ein Ladungsaustausch aufgrund der unterschiedlichen chemischen Poteniale uA, uB durch Diffusion statt
- Die elektronen aus dem MAterial mit dem größeren chemischen Potential gehen in das Material mit geringerem chemischen Potential
- Der Prozess hört auf, wenn sich ein entsprechendes Gegenfeld aufgebaut hat, das den Ladungstransport unterbindet
WAs versteht man unter dem piezoresistiven Effekt?
unter dem piezoresistiven Effekt versteht man die Änderung des spezifischen Widerstands eines Materials (insbesondere bei Halbleitern) unter der Einwirkung einer mechanischen Spannung
- Ursache dafür ist die Gitterstruktur und damit auch die Bandstruktur des Materials sich ändert und damit die BEweglichkeit der Ladungsträger
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